产品AMAT半导体设备
产地美国
服务地区全国
服务类型维修检测
质保三个月
上海仡捷电子科技有限公司 半导体设备维修 APPLIED MATERIALS应用材料设备维修 Lam Research 设备维修 MKS SEMOZON 140 HP臭氧发生器维修 AX8200臭氧发生器维修 AX8506臭氧发生器维修 专业臭氧发生器维修
维修:ASTEC(雅达)、日本COSEL (科索)、LAM(泛林)、APPLIED AMAT(应用材料)、美国AE电源(MDX、MDX II、
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RFPP(RF、LF)VHF、HFV等)、 美国ENI电源(DCG、RPG、DPG、ACG、OEM等)、德国Singulus电源等。
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美国维易科(Veeco)仪器 ENI RFC-5 RF RF射频电源,高压电源维修 ENI OEM-12A RF Generator射频电源 控制器 匹配器维修
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服务:AE(Advanced Energy)、ENI(MKS)、KYOSAN京三、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO射频电源,HiTek Power,Glassman、Spellman高压电源
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pinnacle、Diamond、PE、PEII、RFG、RFX、RFXII、APEX、RFDS、ATLAS、HFG、
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主要维修 AE( Advanced Energy) 、 ENI ( MKS )等 RF 射频电源及直流电源 。同时为各地区的半导体、数据存储、光电子、真空镀膜、平板显示、研究所等行业提供级射频电源维修保养。为 ENI/AE DC POWER & RF GENERATOR 提供维修维护服务。
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维修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP,PLASMA的设备电源,包括直流、高压、脉冲、射频、微波、匹配器、RPSC、CHILLER。服务:拥有一批技术人才,进口射频电源工程技术支持,消化吸收国外技术基础上发展,锻炼培养十几名的维修工程师。
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